草間企画 ジーフロイデ株式会社

東京都世田谷区桜新町1-18-14 エクセル桜新町304 TEL:03-5426-2607


近年、光学系のアライメント調整は益々厳しくなっております。㈱清原光学製のコマフリンジアナライザー(型式CFA-1)は光軸の平行ズレとコマ収差に比例関係がある事に着眼した偏芯調整用の干渉計です。

①測定手法

設計基準が厳しくなると光学系の各構成要素(レンズ単体、鏡筒の寸法公差)も自ずと厳しくなり、仮に調整部分を設けても動かせる範囲が小さくなります。
高精度光学系では設計段階で<効き玉>を設定し、この玉を動かす事で最終性能に到達可能として来ました。

本装置では光学エレメントの平行ズレ量とコマ収差がほぼ比例関係にある事に着眼しています。まずはこの干渉計で透過波面測定を行い、様々な収差成分の中からコマ収差を抜き出し偏芯量の許容範囲を設定します。次に現状の偏芯量の方向と量を測定し先ほどの効き玉を動かす事でこれを可能としています。


②キヤリア干渉法の採用

一般的な干渉計測で用いられる位相シフト法は高精度ですが外部振動に弱く、測定中の数秒間は振動を遮断する必要があります。この干渉計で採用している解析手法は1枚の画像から波面を計算するので画像取り込み時間の間(0.2ms)さえ振動が抑えられれば正確な測定ができます。これによって加工現場や調整中でのリアルタイム測定が可能となりました。


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