草間企画 ジーフロイデ株式会社

東京板橋区板橋2-20-5-203


各部の機能説明
①メカ性能
1)ユニバーサルサンプルチャッキング機構を新搭載(チルト調整機構付き)
2)セラミック製校正ゲージ内蔵ユニット(独立傾き調整機構付き)を新搭載

②ソフトウエア性能
1)3Dトポグラフィー表示機能
2)面頂点高さによる肉厚検出方法
3)合否判定付き検査成績表自動作成機能
4)粗面測定機能

③その他の性能
1)小径レンズ測定機能
2)サンプル衝突防止機構
3)ΔH測定機能
4)大口径化対応
5)自動連続測定機構

①メカ性能
1)ユニバーサルサンプルチャッキング機構

レンズ径を自在に対応出来るユニバーサルチャッキング機構です(径はΦ10〜100まで)。
但しこれは自在な径に対応する為の簡易な機構であり、正確性を求める(例えばマスターに対し±2μ以下等)場合は、この機構や精度が重要になりますので要求精度次第で個別設計します。

※10以下は基本的には専用ホルダーを使ってホルダー自体をチャッキングします。



2)セラミック校正ゲージ内蔵ユニット
 
本装置では測定には、

1.エンコーダ
2.変位計

の値双方を使います。従って各々の誤差が加算されそのままでは高精度測定は困難です。この課題を克服する為、毎回内蔵されたゲージで校正を行ってから実測します(右上図ではゲージはサンプル奥に配置済)。この工夫で先ほどの鋼球測定精度を達成しています。


②ソフトウエア性能
1)3Dトポグラフィー表示 
本装置の基本解析は3D解析です。今回からは両面頂点の3Dを1画面内に出力します。


下記は平行平面板を使ったサンプルの水平調整の事例です。



2)面頂点高さによる肉厚検出方法

本装置では肉厚は上下面の3Dトポグラフィーから頂点を決定し、そのZ変位の差分として
肉厚を検出しています。又旧型機で発生していた3D表示の僅かな面乱れも殆ど改善し、
正確な頂点検出が可能となっています。


※ 変位計Z距離方式測定の効果
Z距離方式は実際レンズを鏡筒に納めた状態でのレンズ肉厚を表します。非球面レンズでは多く見られる事例です。


3)合否判定付き検査成績書自動作成機能
生産ラインで使う場合、検査基準に対する合否判定が重要です。 判定基準と合否結果、測定日時、作業者等の一覧表を自動作成し 製造現場で使える様にしています。



4)粗面測定機能

レンズの削り加工中は面は粗面状態です。この時点での肉厚測定も重要ですがそれには変位計側のしきい値調整で測定可能となります。


③その他の性能
1)小径レンズ測定事例
φ10以下はレンズホルダーを使って測定します。それと小径レンズではサンプルのセンタリングが難しいです。この課題は一度測定を行い、解析ソフト画面から画面中央とのズレ量を把握し、ステージ制御でセンタリングする事が可能になりました。小径レンズ測定では有効な機能です。
下記はセンタリング調整の前後の様子です(※左が調整前、右が調整後です)




2)サンプル衝突防止機構

サンプルの表面状態次第では反射光が返らず、結果変位計が止まらずレンズに接近し続けてしまう事があります。 こんな場合の為、予めレンズの面情報(設計厚み)を入力しWD位置より接近した場合、変位計を停止させる処理をしています。


3)ΔH測定機能
ΔH,いわゆる凹面の凹み量測定です。一般的には接触式のデプスゲージで測りますが、この値も ボトムの位置探しが困難であり傷の懸念があります。
※但しこの測定は肉厚とは違って『片側測定』なのでステージ振動の影響を受けやすくなります。




4)特注装置(露光機用大型レンズ中心厚測定仕様)

半導体製造装置用の光学系は製造精度が格段に厳しく、使われるガラス材も大口径で柔らかい素材が多く研磨が大変難しいです。又求められる肉厚管理も厳しいですが、これまでそれを正確に測れる測定機が存在しませんでした。弊社はこの課題に挑み、大口径で10センチを超える肉厚を高精度で測れる仕様を新規設計し、受注を受け現在製造中です。製造現場向けのサンプルのレシピ管理も可能です(※詳細掲載は不可です)

5)自動連続測定機構

実際の製造現場では大量のサンプルを短時間で測定する事が求められます。本装置では特別仕様として、サンプルφに応じた専用穴空きホルダーを用いる事で回転ステージと共に自動で中心厚測定が可能です。 この事例ではφ20mm、厚み2mmの凹レンズが25個搭載されています。これに対し測定開始から約7分(20秒/@)で測定が完了しました。又値のバラつきも平均で3μm以下に収まっています。




10回測定データ(平均振れ幅3μ以下)


※下記動画は大量サンプルの自動測定仕様(旧型機仕様)です。  
 専用ホルダーにΦ20サンプルを25個搭載した事例です。

販売代理店

非接触中心厚測定機(CT gauge)に関しましては、 下記の販売代理店からご購入いただけます。
お近くの営業所をご利用ください。


株式会社ナガタ

◆ 本 社
 〒394-0025 長野県岡谷市大栄町2-4-15 
TEL : 0266-22-4592(代) FAX : 0266-24-0317
URL: 
https://www.nagata-ss.co.jp/
 
◆ 東京営業所
 〒192-0045 東京都八王子市大和田町5-27-10 
TEL : 042-631-1782 FAX : 042-631-1786
 
◆ 宇都宮営業所
 〒321-0905 栃木県宇都宮市平出工業団地43−102 
TEL : 028-613-0255 FAX : 028-613-0277
 
◆ 大阪営業所
 〒660-0862 兵庫県尼崎市開明町2-11 神鋼建設ビル405 
TEL : 06-6430-0125 FAX : 06-6430-0135
 
◆インドネシア ジャカルタ営業所
 Jakarta Branch Office 
Jl. Raya Sukabumi Km.2, Teluk Pinang Ciawi 16720  Bogor, Jawa Barat  INDONESIA
TEL : +62-251-8242-166   FAX : +62-251-8242-166
 
◆永田(香港)有限公司
 Nagata Hong Kong Co.,Ltd.
4B,11/F.,Join-In Hang Sing Ctr.,2-16 Kwai Fung Crescent, Kwai Chung,NT.,HK  
TEL :+852-2614-7755   FAX :+852-2614-7767
 
◆永田五光国際貿易(上海)有限公司
Nagata Shanghai International Trade Co.,Ltd.
Room 903 Shanghai Huasheng Business MansionNo.398  Hankou Road,HuangPu Dist. Shanghai
TEL :+86-21-6360-1527  FAX :+86-21-6360-1608


川川企業有限公司

◆ 本 社
  22046 新北市板橋區雙十路三段16號10樓
TEL : +886-2-2258-0038 FAX : +886-2-2258-9229
URL:http://www.kawakawa.com.tw
 

商標登録

商標登録について
この度、「CTgauge」が特許庁により商標登録として正式に認可されましたので、お知らせ致します。

なお弊社の「CTgauge」は「Center Thickness Gauge」中心厚測定機を意味しております。






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