ジーフロイデ株式会社

東京板橋区板橋２-20-5-203

大口径レンズ対応モデル（マニュアル式）CT-GaugeLM　新登場！


半導体露光機用光学系等に使われるレンズは大口径です。しかも求められる性能もカメラレンズとは異なり精度も厳しいです。又硝材入手が困難な昨今測定は非接触が必須です。さらに製造現場では、PCによる難しい作業は避けたい。

そんなご要望にお応えし、開発致しました。
シンプルでとても使いやすい機構になっております。

※またマニュアル方式だけでなく、「レシピ付き自動方式」も実績がございますのでご興味のある方はお問い合わせください。お勧めです。

性能諸元表

１）現場ニーズに合致したマニュアル式操作

昨今、半導体市場は活況が続いています。多忙な製造現場のニーズに合致させる為、複雑な操作は一切排除しました。接触式に近いシンプルな操作感を備え、まるで大きなダイヤルゲージです。下図に測定原理と専用ヤトイによるセンタリングの仕組みを示しました。

2）シンプルな操作感
この装置には非接触の変位計が使われています。この変位計を決められたレンズ表面の位置まで接近させる必要があります。ここをシンプルな操作にしています。画面に表示される変位計からの反射光のピークが所定の範囲に来る用、画面表示化しています。どなたでも簡単に操作出来ます。

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