草間企画 ジーフロイデ株式会社

東京板橋区板橋2-20-5-203

ポータブル粗さ計(Micro Finish Topographer)


チリ天文台直径7メートルのミラー測定 (アリゾナ大学にて)

非接触ポータブル粗さ計 MFT(Micro Finish Topographer)

加工現場で手軽に測定
これまでの粗さ計は装置の筐体が大きく、搭載できるサンプルサイズにも制限がありました。
これを解決する方法は

1.装置全体を巨大化させる
2.測定機側を小さくしてサンプルに乗せる

現在の時流としては2の測定機側を小さくさせる事ですが余りコンパクトに出来ていないのが現状です。ここで紹介するポータブル粗さ計(Micro Finish Topographer、以下MFTと略す)はこれまでの常識を覆す小型化に成功しています。

上画像を御覧ください。アリゾナ大学で加工中の7mミラーの研磨精度検査の様子です。
作業員が測定機を片手で操作しています。これほど機動性のある粗さ計はありません。

加工現場で簡単に使える粗さ計、遂に登場です。是非現場で活躍させて下さい!
※下左画像はシステム全景、右は測定の心臓部(PSM)です。


システム全体
PSM



コストパフォーマンスに優れたポータブル粗さ計測定

本体+PCのシンプルな構造
MFTはシンプルでコストパフォ ーマンスに優れた小口径から大口径、そして特大口径のサンプルの表面粗さ測定装置です。この高精度なフェイズ測定干渉計は業界で最も知られた干渉計メーカーの一つ、Apre社のソフトウェアREVEALによリ制御駆動され、直観的かつ容易な操作で様々な解析環境を提供します。 これらの組み合わせはスタイラスプロファイラや光学プロファイラにはないユニークな測定行うことができます。

ピエゾによる高精度測定
装置の筐体はこれまでの粗さ計にある様な大型ではありません。 従って外乱振動にも強く、データ処理は一般的なフリンジスキャン で高速の演算処理等は不要です。




特大パーツ、平面測定が可能

装置の向き構成で大型パーツ測定
標準の下向き構成で特大口径のどの場所でも粗さ測定を行います。これは複雑で高価なブリッジ、ステージ機能を必要とせずごみの発生も心配ありません。対象パーツを直接測定でき振動の影響も受けにくい設計になっています。 3つのナイロン製のボールで対象パーツに接触し、シンプルな構造のティップティルト機構により簡単に、そして素早く対象の干渉縞を得ることができます。一度アライメントを済ませば対象物の違う部分へ移動してもほとんど再調整が必要ありません。

加工現場で、すぐに測定できる
筐体がコンパクトなので加工機上に直接そのまま搭載して測定が可能です。従って大掛かりなハンドリングロボットやアームは不要です。




1)出力事例

測定時間は瞬時にフィードバック

測定からカスタムレポート出力まで10秒以下
MFTはダイヤモンドターニングマシンに搭載することができ、その場で粗さを測定することができます。こうすれば振動などを気にすることなくまたエ具の交換などの手順も簡略化して生産性を上げることができるようになリます。MFTは制御PC、ソフトウエア、冶具を含んでおリフレキシブルで安価な表面粗さ計測を行えます。

ソフトは、アプレ社「REVEAL」を採用
インターネットブラウザのようなユーザーインターフェースはウィンドウを重ねて表示させる必要はありません。それに加え、datフォーマットの互換性と最新の.h5フォーマットを扱うことが出来ます。 REVEALは最新のデータをお届けするとともに過去のデータもすべて処理することができます。



2)測定事例

左画像は大型の金属平面上での測定、右画像は加工機上で測定の様子です。


小型パーツ測定を素早く

小型レンズは装置に乗せるだけ
装置を上下反転させれば小型サンプルも置くだけで測定可能です。 MFTの上向き構成の場合150mmまでの小さなパーツをステージの上に乗せ、対象に合わせた干渉縞を素早く得ることができます。一度アライメントをすれば次々と同じ設計のパーツを再調整なしに検査を続けることができます。



下記の出力事例はサンプルの依る粗さの違いを表しています。
上がアルミ板、下が銅板です。粗さを示す数値(RMS値)では

アルミ板・・・約10nm
銅板・・・約80nm

であり、その差は約8倍で歴然と違いが分かります。



3)性能諸元表


4)寸法図

左画像:アップワード式(小型サンプル測定用)
右画像:ダウンルッキング式(大型サンプル測定用)



測定部(PSM)寸法図



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