1996年に設立された米国企業により画面合成測定技術を搭載した装置がリリースされました。しかしながら課題は分割測定の信頼性、装置の大型化そして価格です。
この課題を解決したのが清原光学製スティッチング装置です。装置概要は下記です。
装置構成は
1.サンプルを干渉計光軸に対し斜めに保持し回転させるメカ機構
2.画面を合成する解析ソフトウェア
です。従って既存の干渉計に付加させるだけで測定が可能となり、大掛かりな装置を新規
で導入する構想ではありません。6インチ純正TSの測定範囲がどの程度拡大するかの指標
も示しました。青線が純正TSのカバー率、黄線がスティッチングした場合のカバー
率です。