ジーフロイデ株式会社

東京板橋区板橋2-20-5-203

スティッチング装置とは?


干渉計をお使いの方々の悩みの一つに測定面積のカバー率という問題があります。
原器にはfナンバーがあるので測れる面積は原器次第です。
下記は干渉計に於ける一般的なカバー率の概念図を示しています。


干渉計利用者はこの原器制限の中で面評価をします。但し全面評価が望まれる場合は、

1.原器を特注する
2.部分データを合成する

という選択肢となります。これに対し1を行うとなるとかなりのコストが掛かる事が予想されます。次の手は2ですが、これは1996年に設立された米国企業により画面合成測定技術を搭載した装置がリリースされました。しかしながら課題は分割測定の信頼性、装置の大型化
そして価格です。

この課題を解決したのが清原光学製スティッチング装置です。装置概要は下記です。


装置構成は

1.サンプルを干渉計光軸に対し斜めに保持し回転させるメカ機構
2.画面を合成する解析ソフトウェア

です。従って既存の干渉計に付加させるだけで測定が可能となり、大掛かりな装置を新規
で導入する構想ではありません。下記はこれで某社製6インチ純正TSの測定範囲がどの程度
拡大するかの事例です。青線が純正TSのカバー率、黄線がスティッチングした場合のカバー
率です。


そして下記がデータの精度検証です。
全面一括測定と分割測定を行い、非常に良い相関データが得られています。


製品紹介動画はこちらです。
(令和2年度 板橋製品技術大賞 優秀賞/東京商工会議所板橋支部賞 受賞!)
.